產(chǎn)品名稱:四氟化碳?四氟化碳?xì)怏w 四氟甲烷 全氟化碳 
   
  產(chǎn)品等級(jí):分析純 
  產(chǎn)品純度:99.999% 
  包裝規(guī)格:40L 
  英文名稱:carbon tetrafluoride 
  英文別名:Tetrafluoromethane 
  CAS:75-73-0 
  EINECS:200-896-5 
  分子式:CF4 
  分子量:88 
  物化性質(zhì):- 熔點(diǎn):-184℃ 
  相對(duì)密度:-128 
  用途:用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑 
   
  產(chǎn)品參數(shù):  
  
     
        名稱  | 
    化學(xué)式   | 
    純度(%)   | 
    壓力(Mpa)   | 
    充裝量(m3/kg)   | 
    閥門|螺紋出口   | 
    鋼瓶容積(L)   | 
    鋼瓶尺寸(cm)   | 
    鋼瓶皮重(kg)   | 
   
  
    四氟化碳   | 
    CF4   | 
    99.999   | 
    4   | 
    28公斤   | 
    PX-32|G5/8   | 
    40   | 
    29×145   | 
    50   | 
   
  
    四氟化碳   | 
    CF4   | 
    99.999   | 
    4   | 
    30公斤   | 
    CGA580   | 
    44   | 
    29×145   | 
    50   | 
   
  
    四氟化碳   | 
    CF4   | 
    99.999   | 
    4   | 
    5公斤   | 
    PX-32|G5/8   | 
    8   | 
    22×70   | 
    10   | 
   
 
  
春雨四氟化碳質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)  
  
     
        四氟化碳產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) QUALITY STANDARD FOR CF4  | 
   
  
    純       度  | 
    CF4  | 
    ≥99.9  | 
    ≥99.99  | 
    ≥99.999  | 
   
  
    氮       氣  | 
    N2  | 
    ≤300ppm?   | 
    ≤10ppm  | 
    ≤3ppm  | 
   
  
    氧       氣  | 
    O2  | 
    ≤100ppm  | 
    ≤5ppm  | 
    ≤1ppm  | 
   
  
    水       分  | 
    H2O  | 
    ≤10ppm  | 
    ≤1ppm  | 
    ≤1ppm  | 
   
  
    一 氧 化 碳  | 
    CO  | 
    ≤50ppm  | 
    ≤1ppm  | 
    ≤1ppm  | 
   
  
    二 氧 化 碳  | 
    CO2  | 
    ≤50ppm  | 
    ≤1ppm  | 
    ≤1ppm  | 
   
  
    酸       度  | 
    HF  | 
    ≤1ppm  | 
    ≤0.1ppm  | 
    ≤0.1ppm  | 
   
  
    其它氟碳化合物  | 
    F-C  | 
    ≤350ppm  | 
    ≤2ppm  | 
    ≤2ppm  | 
   
  
    六 氟 化 硫  | 
    SF6  | 
    ≤50ppm  | 
    ≤5ppm  | 
    ≤1ppm  | 
   
 
中國船舶重工集團(tuán)公司(簡稱中船重工,CSIC)成立于1999年7月1日,是在原中國船舶工業(yè)總公司所屬部分企事業(yè)單位基礎(chǔ)上組建的特大型國有企業(yè),是國家授權(quán)投資的機(jī)構(gòu)和資產(chǎn)經(jīng)營主體,由中央管理。 
    中船重工是中國最大的造修船集團(tuán)之一,其中包括國內(nèi)外著名的大連船舶重工集團(tuán)有限公司、渤海船舶重工有限責(zé)任公司、武昌造船廠、山海關(guān)船舶重工有限責(zé)任公司、青島北海船舶重工有限責(zé)任公司、大連船用柴油機(jī)廠和中國艦船研究院、中國船舶科學(xué)研究中心等。集中集團(tuán)公司旗下優(yōu)質(zhì)船舶配套資產(chǎn),發(fā)起設(shè)立了中國船舶重工股份有限公司,并陸續(xù)組建了中國船舶重工國際貿(mào)易有限公司、中船重工船舶設(shè)計(jì)研究中心有限公司、中船重工財(cái)務(wù)有限責(zé)任公司、中船重工科技投資發(fā)展有限公司和中船重工物資貿(mào)易集團(tuán)有限公司等一批專業(yè)公司。 
 
我公司長期向其供應(yīng)優(yōu)質(zhì)高純5N(99.999%)四氟化碳?xì)怏w。 
 
產(chǎn)品用途: 
 
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。 
  1. 可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對(duì)于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。 
  2. 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、 
  泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 
  3. 由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。 
  4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。目前已  
  產(chǎn)品包裝:  
  (一)包裝—四氟化碳鋼瓶 
  名稱:鋼質(zhì)無縫氣瓶 (執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB5099\ISO9809) 
  (二)存放—四氟化碳 
  1.氣瓶使用和檢驗(yàn)遵照國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。 
  2.氣瓶不得靠近火源,不得受日光曝曬,與明火距離一般應(yīng)該不小于10米,氣瓶不得撞擊。 
  3.氣瓶的瓶子嚴(yán)禁沾染油脂。 
  4.氣瓶內(nèi)的氣體不能全部用盡,應(yīng)該留不小于0.04MPa剩余壓力。  
  在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險(xiǎn)。 
   
減壓閥  
  
    | 品牌  | 
    GENTEC  | 
    型號(hào)  | 
       | 
   
  
    測(cè)量范圍  | 
    1-25(MPa)  | 
    適用介質(zhì)  | 
    四氟化碳  | 
   
  
    額定出口壓力  | 
    0.6(MPa)  | 
    額定流量  | 
    3(m3/h)  | 
   
  
    用途  | 
    減壓  | 
    結(jié)構(gòu)  | 
    單級(jí)式  | 
   
  
    工作原理  | 
    正作用式  | 
    環(huán)境溫度  | 
    -45-60(℃)  | 
   
  |